Business Areas & Products
Semi-conductor & Display Industry
RPS(Remote Plasma Source)
혁신적인 기술을 적용한 인투코어테크놀로지의 RPS
세계최초 Process RPS
반도체 공정 양산 검증 완료
넓은 공정 Window 확보
고성능 Power 제어 구현
단순한 구조 설계를 통한 Particle 최소화
사용자의 Chemistry에 적합한 다양한 소재 선택 가능
<RPS 개념도>
- 플라즈마에 의해 데미지 감소를 위해 원거리에서 플라즈마를 발생시키는 기술
- 전기적 극성을 띄는 전자와 이온을 배제하고 활성종만 활용하고자 하는 분야에 사용
- 활성종의 고효율화 및 대량 공급능력이 기술의 핵심
RPS Product line-up
En2ra-RPS : Premium concept products for new process development with final CE certification
Pro-RPS : Low-end product for optimized distribution
Qlean-RPS : Product only for NF3 cleaning