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关于我们

等离子体技术

EN2CORE科技的等离子体源

强大、精密和高可靠性

通过自主研发的线圈结构与材料集成技术,EN2CORE科技的等离子体源实现了高密度的等离子体, 具有热特性的高稳定性和高效率放电。

EN2CORE科技的等离子体源适用于尖端半导体制造及清洁能源系统中的高难度工艺。

高反应性

生成高密度活性物质(自由基)

生成高密度活性物质,最大限度提高表面反应和气象反应的效率。

在原子层沉积(ALD)、蚀刻(ALE)等半导体主要工艺乃至能源与燃料的转化工序中发挥着核心作用。

>6,000ºK

超高温等离子体核心

为极限工艺生成热能

生成并保持极限等离子体温度,实现热化学反应、物质分解和高端能源系统所需的高产化学反应。

CH4
H2
N2
CxFy
CO2
Ar
NH3
O2
NF3

5

PRESSURE

8

FLOW

6

POWER

稳定的等离子体放电

在实际工艺环境中确保可靠性

在各种气体组成、压力、流量、电力条件下,依然稳定保持等离子体的特性,在复杂的工艺环境中能够提供均一的性能表现。