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业务介绍

PPS

Plasma Pre-Treatment System (PPS)

为了实现半导体排气线路内气体分解效率最大化而设计的EN2CORE科技公司的PPS产品在提供高前驱体分解性能的同时,将能源使用降到最低。
小巧的一体化设计在尺寸和重量方面较之现有系统做了大幅改善,易于安装,在低压环境下也能稳定运行。

ULTRA-PPS™

  • ico

    高效分解性能

    可分解90%以上的TiCl₄、ZAC等工艺气体,功耗比其他公司的产品低35~40%。

  • ico

    在变动的条件下仍保持稳定运行

    圆筒管状的等离子体发生器实现垂直向下式管道,在压力变化或气体流量不平衡的情况下,依然能够保持稳定的等离子体点火。

  • ico

    小巧轻便的设计

    体积比现有的PPS减小了60%,重量减轻了50%,在安装空间狭小的工厂环境中也能够轻松应用。

  • ico

    Fab现场验证的可靠性

    多年来与全球主流泵厂开展联合评估,确保了长期系统稳定性和维护效率。

PPS Specifications

ULTRA-PPS是为了高效分解处理半导体排气线路中残留的前驱体气体而开发的EN2CORE科技公司的高性能等离子体气体处理系统。
分解90%以上的ZAC、TiCl₄、CF₄等气体,同时低功耗运行,小巧的一体化设计适合洁净室垂直向下式管线安装。

EN2RA™ -RPS

最大功率

12kW

点火气体

<1.5 Torr @ N2 < 70 slm

适用气体

< 1.5 Torr @ N2 < 70 slm, O2, < 8 slm
(Optional gas inlet can be customized)

适用工艺

Foreline Cleaning, exhaust line cleaning
(ZAC, TEMAZ, TEMAH, TiCl₄ evaluation completed)

  • 利用工艺气体的等离子体点火(N₂, O₂)
  • 可放电至N2 70slm的压倒性等离子体放电性能(全球最高规格)
  • 垂直向下式设计,不影响工艺腔室(低电导)
  • 可根据需求定制反应器尺寸与材质
  • 小型轻量化设计 (44kg)

Conceptual diagram for PPS (Plasma Pre-treatment system)

PPS(Plasma Pre-Treatment System)

Conceptual diagram for PPS (Plasma Pre-treatment system)

降低成本

延长半导体工艺使用的Dry pump的寿命,节省客户的Dry pump维修(Overhaul)成本。

安全性

安全处理各种气体。

尤其可以安全处理在形成ZrO2、TiN的工艺中使用的爆炸性原料TEMAZr/TEMAHf等。

环境

处理与碳排放交易相关的PFCs/Nox,保护环境。

协助解决顾客工艺课题的可靠的合作伙伴,EN2CORE科技

从去除有害气体到保护设备,
EN2CORE科技公司的ULTRA-PPS产品设计精巧,具备高效的等离子体分解性能与安装灵活性,
提供符合工厂环境的稳定性与性能。

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