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기업개요

플라즈마 기술

인투코어테크놀로지의 플라즈마 소스

강력함, 정밀함, 그리고 높은 신뢰성

독자적인 코일 구조와 소재 통합 기술을 통해, 인투코어테크놀로지의 플라즈마 소스는 높은 플라즈마 밀도와 열 특성을 갖춘 고안정성·고효율 방전을 구현합니다.

이는 첨단 반도체 제조와 청정에너지 시스템을 위한 고난이도 공정에 최적화되어 있습니다.

높은 반응성

고밀도 활성종(라디칼) 생성

여러 가지 활성종을 고밀도로 생성하여, 표면 반응 및 기상 반응의 효율을 극대화합니다.

이는 원자 단위 증착(ALD), 식각(ALE) 등 반도체 주요 공정은 물론, 에너지 및 연료 전환 공정에 있어서도 핵심적인 역할을 수행합니다.

>6,000ºK

초고온 플라즈마 코어

극한 공정을 위한 열 에너지 생성

극한의 플라즈마 온도를 생성하고 유지하여, 열화학 반응, 물질 분해, 고급 에너지 시스템에 필요한 고수율 화학 반응을 가능하게 합니다.

CH4
H2
N2
CxFy
CO2
Ar
NH3
O2
NF3

5

PRESSURE

8

FLOW

6

POWER

안정적인 플라즈마 방전

실제 공정 환경에서의 신뢰성

다양한 가스 조성, 압력, 유량, 전력 조건에서도 플라즈마 특성을 안정적으로 유지하며, 복잡한 공정 환경에서도 일관된 성능을 제공합니다.