플라즈마 전문기업 인투코어테크놀로지

아래의 상세한 설명을 확인해보세요.

선단공정에서는 플라즈마의 직접 노출로 인해 웨이퍼에 플라즈마 데미지가 발생합니다.

인투코어테크놀로지의 리모트 플라즈마 소스(RPS)는 전기적 성질이 없는 활성종(라디칼)을 공급하여, 플라즈마가 웨이퍼에 직접 닿지 않고 공정을 진행합니다.

이 기술은 플라즈마 데미지 없이 3D 구조를 위한 첨단 선단공정을 완벽하게 구현합니다.

플라즈마 공정 능력의 새로운 기준

인투코어테크놀로지의 RPS는 반도체 선단공정을 위해 설계되었습니다.
PECVD, ALD, ALE, 자연산화막 제거, 표면 전처리, 금속 식각, 하드마스크 제거, 애싱, 챔버 세정 등의 다양한 반도체 공정에서 선단공정에 최적화된 성능을 제공합니다.
직접 플라즈마의 한계를 넘어, RPS가 구현하는 리모트 플라즈마 공정을 통해 정밀한 공정 제어와 우수한 공정 성능을 실현할 수 있습니다.

검증된 플라즈마 전문성과 함께 혁신을 앞당기세요

인투코어테크놀로지의 리모트 플라즈마 소스(RPS)는 강력한 IP, 전문 기술력, 그리고 반도체 팹의 엄격한 테스트를 통해 검증된 제품입니다.
개발 비용을 줄이고, 일정은 단축하며, 까다로운 플라즈마 공정 과제도 신뢰할 수 있는 파트너와 함께 자신 있게 해결해보세요.