메뉴 바로가기 본문 바로가기

EN2CORE technology Logo 플라즈마 전문기업 인투코어테크놀로지

사업소개

PPS

Plasma Pre-Treatment System (PPS)

반도체 배기 라인 내 가스 분해 효율을 극대화하도록 설계된 인투코어테크놀로지의 PPS는 높은 전구체 분해 성능을 제공하면서도 에너지 사용은 최소화합니다.
컴팩트한 일체형 설계로 기존 시스템 대비 크기와 무게가 크게 줄어들어, 설치가 용이하고 저압 환경에서도 안정적인 운용이 가능합니다.

ULTRA-PPS™

  • ico

    고효율 분해 성능

    TiCl₄, ZAC 등 공정 가스를 90% 이상 분해하면서도, 타사 대비 35~40% 낮은 전력으로 작동합니다.

  • ico

    변동 조건에서도 안정적인 운전

    원통 튜브형 플라즈마 발생부는 수직 직하형 배관을 실현하여 압력 변화나 가스 유량의 불균형 상황에서도 안정적인 플라즈마 점화를 유지합니다.

  • ico

    컴팩트하고 경량화된 설계

    기존 PPS 대비 부피는 60%, 무게는 50% 줄어들어, 설치 공간이 협소한 팹 환경에서도 적용이 용이합니다.

  • ico

    Fab 현장에서 검증된 신뢰성

    글로벌 메이저 펌프 제조사와 다년간 공동평가를 진행하여, 장기적인 시스템 안정성과 유지보수 효율을 확보했습니다.

PPS Specifications

ULTRA-PPS는 반도체 배기 라인 내 잔류된 전구체 가스를 고효율로 분해하여 처리하기 위해 개발된 인투코어테크놀로지의 고성능 플라즈마 가스처리 시스템입니다.
ZAC, TiCl₄, CF₄ 등의 가스를 90% 이상 분해하면서도 저전력으로 작동하며, 클린룸 수직 직하 라인 설치에 최적화된 컴팩트한 일체형 설계를 갖추고 있습니다.

EN2RA™ -RPS

최대출력 전원

12kW

점화 가스

<1.5 Torr @ N2 < 70 slm

적용 가스

< 1.5 Torr @ N2 < 70 slm, O2, < 8 slm
(Optional gas inlet can be customized)

적용 공정

Foreline Cleaning, exhaust line cleaning
(ZAC, TEMAZ, TEMAH, TiCl₄ evaluation completed)

  • 공정 가스를 이용한 플라즈마 점화 (N₂, O₂)
  • N2 70 slm까지 방전 가능한 압도적인 플라즈마 방전 성능(세계 최고 사양)
  • 수직 직하형으로 프로세스 챔버에 영향 없음 (낮은 컨덕턴스)
  • 반응기 크기 및 재질 맞춤 제작 가능
  • 소형 경량 설계 (44kg)

Conceptual diagram for PPS (Plasma Pre-treatment system)

PPS(Plasma Pre-Treatment System)

Conceptual diagram for PPS (Plasma Pre-treatment system)

비용절감

반도체 공정에서 사용하는 Dry pump의 수명을 연장시켜 고객사의 Dry pump 수리 (Overhaul) 비용을 절감합니다.

안전성

다양한 가스를 안전하게 처리합니다.

특히, ZrO2, TiN을 형성하는 공정에서 사용되는 폭발성 원료인 TEMAZr/TEMAHf 등을 안전하게 처리할 수 있습니다.

환경

탄소 배출 거래와 관련된 PFCs / NOx를 처리하여 환경을 보호합니다.

고객의 공정 과제를 함께 해결하는 믿을 수 있는 파트너, 인투코어테크놀로지

유해 가스 제거부터 장비 보호까지
인투코어테크놀로지의 ULTRA-PPS는 고효율 플라즈마 분해 성능과 설치 유연성을 갖춘 컴팩트한 설계로,
팹 환경에 최적화된 안정성과 성능을 제공합니다.

전문가에게 문의하기

문의하기